静电透镜
外观
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静电透镜(electrostatic lens)是一种引导带电粒子的装置,静电透镜可以类似光学透镜使带电粒子聚焦。用在引导电子称电子透镜(electron lens),而用在引导离子则称离子透镜(ion lens)。
种类
[编辑]底下列出几种静电透镜:
- Einzel lens
- cylinder lenses
- aperture lens
- quadrupole lenses
应用
[编辑]电子透镜可用在聚焦电子束源、电子显微镜、电子能谱学(例如,X射线光电子能谱学、俄歇电子能谱学)与电子束曝光等;离子透镜可应用在聚焦离子束源、用在质谱与电浆的操作。