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電漿滲氮

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左側是陽極,右側為需要滲氮的工件

電漿滲氮也稱離子滲氮輝光滲氮,是一種利用電漿技術對燒結材料、各類[1]金屬進行表面硬化的方法,屬於滲氮工藝的一種[2]。以爐體為陽極,工件為陰極,加上幾百直流電壓氮氣氫氣的氣體分子被離子化,產生輝光放電。正電荷對工件表面的轟擊作用加速,將工件加熱到氮化溫度(350°C – 600°C)。氮離子在鋼件表面得到電子,還原為氮原子,滲入鋼件表面並向內擴散,產生Fe-N固溶體和氮化物擴散層,可顯著提高不鏽鋼材料的耐磨和耐腐蝕性能[3]。此過程處理是通過擴散而不是塗層[4],應用PVDPECVD英語Plasma-enhanced chemical vapor deposition塗層混合技術,可更好的控制氮化層特性[5]

參考文獻

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  1. ^ 典型的等离子渗氮结果 (PDF). Rubig. [2021-06-22]. (原始內容存檔 (PDF)於2021-06-24). 
  2. ^ 等离子渗氮. diener. [2021-06-22]. (原始內容存檔於2021-06-27). 
  3. ^ 等离子体所在大气压等离子体渗氮技术研究中取得新进展. 中國科學院電漿體物理研究所. 2020-08-19 [2021-06-22]. (原始內容存檔於2021-06-24). 
  4. ^ IONIT. Oerlikon. [2021-06-22]. (原始內容存檔於2021-06-28). 
  5. ^ 等离子渗氮机. PD2i. [2021-06-22]. (原始內容存檔於2021-06-24).