電漿滲氮

左側是陽極，右側為需要滲氮的工件

電漿滲氮也稱離子滲氮、輝光滲氮，是一種利用電漿技術對燒結材料、各類鋼、鈦、鋁等金屬進行表面硬化的方法，屬於滲氮工藝的一種。以爐體為陽極，工件為陰極，加上幾百伏直流電壓，氮氣和氫氣的氣體分子被離子化，產生輝光放電。正電荷對工件表面的轟擊作用加速，將工件加熱到氮化溫度（350°C – 600°C）。氮離子在鋼件表面得到電子，還原為氮原子，滲入鋼件表面並向內擴散，產生Fe-N固溶體和氮化物擴散層，可顯著提高不鏽鋼材料的耐磨和耐腐蝕性能。此過程處理是通過擴散而不是塗層，應用PVD和PECVD塗層混合技術，可更好的控制氮化層特性。