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自動光學檢查

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CCD自動光學鏡頭處理檢測物件

自動光學檢查(英語:Automated Optical Inspection,簡稱AOI),為高速高精度光學影像檢測系統,運用機器視覺做為檢測標準技術,作為改良傳統上以人力使用光學儀器進行檢測的缺點,應用層面包括從高科技產業之研發、製造品管,以至國防、民生、醫療、環保、電力…等領域。

自動光學檢查是工業製程中常見的代表性手法,利用光學儀器取得成品的表面狀態,再以電腦影像處理技術來檢出異物或圖案異常等瑕疵,因為是非接觸式檢查,所以可在中間工程檢查半成品。高精度光學影像檢測系統,包含量測鏡頭技術、光學照明技術、定位量測技術、電子電路測試技術、影像處理技術及自動化技術應用等領域,其開發應用不但符合高科技產業發展需求,其技術層面更可擴展至國防軍事工業,舉凡兵工武器製造、夜視作戰系統、戰略地形形貌之分析與研判等,都與此影像技術息息相關。


基本架構

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LCD工業的自動光學檢測設備
自動光學檢測設備組成部位:
  • 光學部分:
    • CCD Camera(檢測鏡頭)──
    • 光源(上下光源打光)──
    • Review Camera(複檢確認鏡頭)──
  • 系統主機部分(由個人電腦與週邊組成):
    • CIM系統主機──
    • 系統主機螢幕──
    • 瑕疵檢查主機──
    • 瑕疵檢查主機螢幕──

應用

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AOI技術領域非常廣泛,廣義的AOI為結合光學感測系統、訊號處理系統及分析軟體,應用層面可包括宇宙探測航空、衛星遙測、生物醫學、工業生產品質檢測、指紋比對、機器人控制、多媒體技術。

狹義的AOI則指目前大量應用工業自動化的LCD/TFT電晶體PCB工業製程上的光學檢測設備,以及在IC及一般電子業、機械工具/自動化機械、電機/電子工業、金屬鋼鐵業、食品加工/包裝業、紡織皮革工業、汽車工業、建築材料、保全/監視等的自動光學結合影像處理的系統。

發展趨勢

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  • 技術規格
  1. 完整行程須在60 秒內(甚至更短)
  2. 錯誤判斷發生率的降低(避免操作人員的重複檢查)
  3. 盡可能的減少稼動損失(例如減少交換被檢查單元的時間)
  4. 提高模糊比對的功能
  5. 影像解析度不斷提高
  6. 可檢測出週邊線路(以往只需要檢測面板內部)
  7. 可儲存面板的瑕疵影像
  8. 自動分類瑕疵
  • 設備功能
  1. 可輸出分析表格與圖形
  2. 可檢出Mura英語Mura (Japanese term)瑕疵功能
  3. 可處理修補瑕疵功能

參考連結

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參照

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參考文獻

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  • 陳茂成,「從國際FPD 產業趨勢看國內發展商機與挑戰」,工研院IEK 產業情報網,2004 年12 月。
  • 黃仲龍,「提昇LCD 設備自製率議題評析」,工研院IEK 產業情報網,2004 年11 月。
  • 五十嵐大作,小田切章,久保哲夫, 「The Latext Optical Inspection Equipment that influences the Yield of Large-screen, Flat-screen TV Production」, 14th FPD manufacturing technology expo& conference, Tokyo Big Sight, Tower Bldg., Japan, July, 2004.
  • 張鈞傑,黃俊堯,鄭晃忠,「缺陷檢測技術在液晶顯示器製造之應用」,科儀新知,25 卷第二期,第23 頁至35 頁,2003 年10 月。
  • 林道榮,「薄膜電晶體液晶面板自動光學檢測設備發展概況」,台灣工銀金融電子週報,2004 年06 月。
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  • 黃仲龍,「LCD 設備產業發展概況與發展機會」,機械工業雜誌,256 期,2004 年7 月。
  • K. Nakashima, 「Hybrid Inspection System for Color Filter Planes」,Proceedings of IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference, Hamamatsu, Japan, Vol. 2, pp. 689-692 ,1994.